内置 X 射线管发射初级 X 射线,激发镀层、基底原子产生特征荧光;
Si-PIN 高分辨率探测器采集荧光信号,区分多层金属特征谱线;
搭载基体效应校正、多变量非线性算法,结合标准箔片校准,换算镀层精准厚度;
支持单层~五层复合镀层分层独立测算,自动区分基底与各镀层材质。
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探测器:原装 Si-PIN 电制冷探测器,能量分辨率≤149eV,微弱荧光识别精度高;
X 光管:天瑞定制铜靶 X 射线管,管压 5~50kV、管流 0~1000μA,功率稳定;
准直器:标配φ0.1mm 微小光斑准直孔,最小测试光斑 0.2mm,适配芯片引脚、微型触点极小点位检测。
精密二维电动样品台 + X 射线管 / 探测器垂直升降,实现三维全域移动;
重复定位精度<0.005mm,双激光视觉定位,鼠标点击画面即可锁定测试点位;
高度自动感应传感器,凹凸曲面工件自动对焦,避免高度偏差带来检测误差。
全封闭铅玻璃屏蔽舱,舱门联锁安全保护,仅舱体闭合才触发 X 射线;
开放式大样品腔:内腔 500×350×140mm,可放置大尺寸五金、PCB 整板、结构件;
整机尺寸:576×495×545mm,整机净重 90kg,台式实验室稳定机型